Wafer Handling
Wafer Handling
Waferhandler voor het transporteren van wafers, maskers en substraten
Het vlaggenschipproduct van iselRobotik zijn robots voor het transport van wafers, maskers en substraten
in de halfgeleiderindustrie. Deze waferhandlers voldoen aan de strenge ISO 1-cleanroom eisen en overtuigen
bovendien door hun precisie en betrouwbaarheid. Deze waferhandlers worden al meer dan 15 jaar met veel
succes gebruikt in een grote verscheidenheid aan wafer verwerkingscellen, sorteerders en inspectiesystemen over de hele wereld. Dankzij het modulaire principe en een grote keuze aan basislichamen en armunits kunnen vele mogelijke combinaties van standaardcomponenten worden gerealiseerd.
Serie 1 Waferhandler
Serie 1-robots zijn ontworpen voor het hanteren van wafels. Dankzij het modulaire systeem kunnen diverse basislichamen van 7″ tot 21″ Z-takt gecombineerd worden met veel verschillende armsamenstellen van 10,5″ tot 28″. Afhankelijk van de combinatie van assen zijn handlingsgewichten tot 3 kg mogelijk.
Serie 3 Waferhandler met één arm
Serie 3-robots met enkele armen worden gebruikt waar een grotere structurele stijfheid vereist is. Dit betekent dat belastingen tot 5 kg kunnen worden bereikt, zelfs in combinatie met lange armconstructies en een grote Z-slag tot 21″.
Serie 3 Waferhandler met dubbele arm
Serie 3-robots met dubbele arm hebben het potentieel om de doorvoer van een applicatie te vergroten. Dankzij de twee onafhankelijke armen kunnen wafers zeer snel worden verwisseld en kunnen lege runs worden vermeden.
